金属有机化学气相沉积大面积氧化锌透明导电膜反应器专利查询专利号|摘要-满商公司网

金属有机化学气相沉积大面积氧化锌透明导电膜反应器

基本信息

申请号	CN200520025309.2	申请日	-
公开（公告）号	CN2775071Y	公开（公告）日	2006-04-26
申请公布号	CN2775071Y	申请公布日	2006-04-26
分类号	C23C16/455(2006.01);C23C16/40(2006.01)	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	耿新华;赵颖;薛俊明;仁慧志;魏长春;张德坤	申请（专利权）人	昆明铂阳远宏能源科技有限公司
代理机构	天津市学苑有限责任专利代理事务所	代理人	解松凡
地址	300071天津市卫津路94号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种氧化锌透明导电膜的制备设备，特别是用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）制备氧化锌透明导电膜的反应器，以便实现制备氧化锌透明导电膜的大面积均匀性。 MOCVD法制各氧化锌透明导电膜，具有无轰击，衬底温度低（～ 150℃）等优点，特别适合于低温薄膜太阳电池应用，对提高电池效率有重要作用。本实用新型的技术方案：这种金属制备氧化锌透明导电膜的反应器，是在一个圆柱形反应室中设置加热丝、匀热板、二乙基锌和硼烷布气管、水布气管等，其特点在于：二乙基锌和硼烷布气管为梳状，梳状分管上布有微孔，水布气管呈十字交叉状。本新型的有益效果：反应器结构简单、造价低，在不加旋转的情况下，20cm×20cm基片范围内实现了薄膜不均匀性小于5％。