蒸发台火山口清理箱
基本信息
| 申请号 | CN202123345184.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216501435U | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN216501435U | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | B08B15/04（2006.01）I;B08B17/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 孟恒;刘君;孔斯 | 申请（专利权）人 | 山东晶导微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 济宁汇景知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 273100山东省济宁市曲阜市春秋东路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及坩埚技术领域，特别是涉及蒸发台火山口清理箱：箱体，箱体的底部和顶部分别以能够打开方式设置有顶盖和底盖；通孔，通孔沿竖向开设在底盖上；伸缩套筒，伸缩套筒外壁与通孔内壁以间隙方式滑动配合；扩口，扩口呈喇叭状结构固设在伸缩套筒上部；限位环，限位环套设在伸缩套筒外壁，且限位环位于底盖下部；通过以伸缩方式设置伸缩套筒，将伸缩套筒下端口直接放在火山口处，对喷出的材料及时收集，避免材料的崩溅造成其他部件的污染；通过设置箱体，能够延长该装置的使用周期，无需每天清理，节省时间，该装置整体上提升了作业效率、降低了安全风险，为企业创造了极好的效益。 |
