一种手动探针测试工作台
基本信息
| 申请号 | CN202123357576.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216646581U | 公开（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申请公布号 | CN216646581U | 申请公布日 | 2022-05-31 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孟恒;刘君;孔鲁 | 申请（专利权）人 | 山东晶导微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 济宁汇景知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 273100山东省济宁市曲阜市春秋东路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开一种手动探针测试工作台，包括载台底座、XY轴移动平台、Z轴移动平台和测试装置；所述XY轴移动平台以能够在水平方向移动的方式被设置于所述载台底座，且所述XY轴移动平台的顶面设置有绝缘座，所述绝缘座的顶部设置有铜板；所述Z轴移动平台以能够在竖直方向移动的方式被设置于所述载台底座，并位于所述XY轴移动平台的正上方，所述Z轴移动平台于水平方向设置有正对所述铜板的环形槽；所述测试装置包括显像元件和探边元件，其中所述显像元件以在所述Z轴移动平台的上方正对所述铜板的方式固定设置于所述载台底座，所述探边元件被固定设置于所述环形槽的侧壁。本申请能够快速、稳定、准确的测试半导体元件，尤其是小颗粒晶体。 |
