一种光谱共焦位移传感探头和传感器
基本信息
| 申请号 | CN202111666890.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114353668A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114353668A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | G01B11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李君宇;赖芸;王丹;虞传庆;王鹏 | 申请（专利权）人 | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 薛晨光 |
| 地址 | 264006山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种光谱共焦位移传感探头和传感器，包括准直透镜，用于消除进入光谱共焦位移传感探头的光束的色差并准直光束；与准直透镜相对设置的超表面透镜，用于聚焦准直后光束并使聚焦后光束在光轴方向上发生色散；超表面透镜包括衬底，及设于衬底的第一表面和/或第二表面的多个微结构，多个微结构的高度相等，且衬底和微结构中至少微结构采用半导体工艺制备；第一表面为衬底与准直透镜相对的表面，第二表面与第一表面相背。探头只需设置一个超表面透镜和一个准直透镜即可，结构简单，且表面透镜中所有微结构的高度相等，进一步简化探头结构；衬底和微结构均采用半导体工艺制备，所以可以采用半导体工艺大规模生产，降低成本。 |
