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一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202010801748.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111896120B 公开（公告）日 2022-03-22
申请公布号 CN111896120B 申请公布日 2022-03-22
分类号 G01J5/10（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李君宇;易飞;王鹏;甘先锋;董珊;陈文礼;王宏臣 申请（专利权）人 烟台睿创微纳技术股份有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王晓坤
地址 264006山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法，包括由下向上设置的基底层、第一悬空层、第二悬空层，第二悬空层包括第二支撑层和线栅层；线栅层包括多个超像元区域，每个超像元区域包括呈矩阵排列的第一子超像元区域、第二子超像元区域、第三子超像元区域、第四子超像元区域，第一子超像元区域、第二子超像元区域、第三子超像元区域、第四子超像元区域中均包括四个线栅像元区域，每个线栅像元区域中线栅朝向角度均不同，且第一子超像元区域和第四子超像元区域对应的绝缘介质层的厚度大于第二子超像元区域和第三子超像元区域对应的绝缘介质层的厚度。本申请的红外探测器在实现偏振双色成像的条件下，保证工作视场不受影响。