一种非制冷红外偏振探测像元结构、芯片及探测器
基本信息
| 申请号 | CN202111276820.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114001832A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114001832A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | G01J5/48（2006.01）I;G01J5/08（2022.01）I;G01J5/20（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘天德;董珊;甘先锋;王鹏;陈文礼;王宏臣 | 申请（专利权）人 | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吕鑫 |
| 地址 | 264006山东省烟台市开发区贵阳大街11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种非制冷红外偏振探测像元结构，通过将光栅层的通光区域设置成对应偏振方向的正多边形，可以保证该通光区域中对应不同偏振方向的光栅除偏振方向不同之外均具有相同的形貌，从而保证对于多个预设偏振方向的入射光该光栅层均具有相同的透过效率。通过将像元层设置成与透光区域相对应的正多边形，同时在像元层表面设置吸收单元，可以排除像元层中电极造成的偏振选择吸收特性的影响，使得红外探测像元的光吸收偏振不敏感，从而保证像元层对不同偏振方向的光线响应一致，避免响应非均匀性的问题。本发明还提供了一种芯片以及探测器，同样具有上述有益效果。 |
