晶圆

基本信息

申请号 CN201922013736.3 申请日 -
公开(公告)号 CN210628319U 公开(公告)日 2020-05-26
申请公布号 CN210628319U 申请公布日 2020-05-26
分类号 H01L29/872;H01L21/66 分类 基本电气元件;
发明人 单亚东;谢刚;胡丹;李武华 申请(专利权)人 广微集成技术(深圳)有限公司
代理机构 工业和信息化部电子专利中心 代理人 广微集成技术(深圳)有限公司
地址 518057 广东省深圳市南山区西丽街道松坪山新西路7号兰光科技大厦B209
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆,所述晶圆包括:最底层的N型衬底、覆盖在N型衬底上表面的N型外延层、覆盖在N型外延层上表面四周的氧化层、覆盖在N型外延层上表面氧化层内侧以及氧化层上表面的金属铝层、以及覆盖在金属铝层上表面且与所述金属铝层大小一致的焊接层。