一种带位置检测功能的晶圆传输机械手
基本信息
| 申请号 | CN202110642044.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113436992A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113436992A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王冲;傅立超 | 申请（专利权）人 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 高凌 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市新桥村村委东首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，涉及机械手技术领域；包括底座、和底座滑动连接的用以支撑晶圆的手指、用以驱动手指在底座上运动的驱动装置、若干组和底座固接的对射传感器、用以移动底座的机械臂；对射传感器的组数量至少组，对射传感器处于一个虚拟圆上，虚拟圆的半径和晶圆的半径适配；手指包括和底座滑动连接的滑块、和滑块固接的呈C字形的指部、位于指部内侧的若干用以给晶圆限位的限位块、和限位块固接的用以支撑晶圆下侧的支撑板；对于标准尺寸的晶圆，其半径标准，限位块均抵靠在晶圆的边缘处，将该晶圆的圆心相对手指的位置命名为真圆心。本发明晶圆放置精度高。另外，采用两个手指交替传输，提高效率。 |
