一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机
基本信息
| 申请号 | CN202120532811.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313149U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313149U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘晓龙;沈云清 | 申请（专利权）人 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 | 代理人 | 李美宝 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村口1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种片盒翻转组件，包括：主动轴，设有第一传动端；旋转支撑杆，与所述主动轴交错，并通过齿轮组件传动连接所述第一传动端；片盒固定组件两端各设有一个旋转传动件，旋转传动件轴连接旋转支撑杆，片盒固定组件还包括连接所述旋转传动件的片盒安装板；其中，至少一个所述旋转传动件上设有限位组件。本实用新型解决了存放晶圆的片盒在浸泡池中无法旋转并定位的问题。 |
