一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置
基本信息
| 申请号 | CN202111035548.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113467199A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113467199A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘长伟;耿克涛;袁创迪;刘金 | 申请（专利权）人 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 | 代理人 | 刘潇 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村口1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种便于拆卸的防止反溅液体污染晶圆的装置，所述防止反溅液体污染晶圆的装置包括：废液收集整流杯；废液收集整流杯支撑件，所述废液收集整流杯支撑件用于支撑所述废液收集整流杯；至少一个升降主动件，所述升降主动件设于所述废液收集整流杯的任意一侧，所述升降主动件用于控制所述废液收集整流杯升降运动；至少一个平动主动件，所述平动主动件与所述升降主动件滑动连接，所述平动主动件用于控制所述废液收集整流杯水平运动；其中，所述升降主动件连接所述废液收集整流杯支撑件，或所述平动主动件连接所述废液收集整流杯支撑件。本发明有效解决更换废液收集整流杯时，更换空间较小，操作不方便的问题。 |
