一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202110748798.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113448183A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113448183A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G03F7/26（2006.01）I;F25D17/02（2006.01）I;F25D17/06（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 耿克涛;刘金 | 申请（专利权）人 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡小永 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及匀胶显影机技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括匀胶显影机机箱，每个竖向柜的内部均设有热处理单元模块；水冷却机构，其数量与热处理单元模块的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块的底部，水冷却机构包括水冷板底板；通风机构，其数量与热处理单元模块的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块的上方，每个通风机构均包括进风通道和排风通道；恒温器；总进风管道；鼓风机；总出风管道，该设备能够高效且持续的将加热处理单元模块进行冷却，并且能够自动的将加热处理单元模块产生的多余热量抽走，提高冷却效率。 |
