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一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置

基本信息

申请号	CN202110718670.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113376977A	公开（公告）日	2021-09-10
申请公布号	CN113376977A	申请公布日	2021-09-10
分类号	G03F7/30;G03F7/16	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	耿克涛;刘金	申请（专利权）人	宁波润华全芯微电子设备有限公司
代理机构	宁波高新区永创智诚专利代理事务所（普通合伙）	代理人	胡小永
地址	315400 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
法律状态	-

摘要

本发明涉及HMDS处理设备技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：HMDS罐；密封保护罩；氮气上料机构；还包括：机架；排风机构，安装在机架上，排风机构的抽气端设置在密封保护罩内部；吸收机构，设置在排风机构上；自动回收机构，设置在机架上，自动回收机构的抽气端与密封保护罩内侧顶端密封连接；控制器，设置在密封保护罩外侧壁上；泄露检测传感器，设置在密封保护罩内侧，泄露检测传感器与控制器电连接；密封保护罩外侧壁上安装有警报器，警报器与泄露检测传感器和控制器均电连接，本发明所示设备可以完全杜绝因为HMDS泄露造成的安全事故，若发生泄露则发出报警信号，切断原料供应，避免持续泄露，对泄露的HMDS进行收集。