一种晶圆对中装置及去胶机
基本信息
| 申请号 | CN202120667663.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313153U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313153U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪钢;刘晓龙 | 申请（专利权）人 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 | 代理人 | 李美宝 |
| 地址 | 315400浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村口1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆对中装置及去胶机，所述晶圆对中装置包括：至少一个晶圆安装支架，每个所述晶圆安装支架环绕形成晶圆安装位，所述晶圆安装支架的至少一侧设有夹持开口，所述夹持开口连通所述晶圆安装位，每个所述晶圆安装支架包括：导向件，设有导向面朝向所述晶圆安装位。本实用新型解决了夹持装置在夹持晶圆前无法准确地定位晶圆中心的问题。 |
