一种OLED掩膜版OpenMask表面LiF材料清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202011449274.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112676243A | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN112676243A | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 惠朝先;邱俊;吕先锋;王佳欣;李奎;向志强 | 申请（专利权）人 | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林淡如 |
| 地址 | 641000四川省内江市市中区安泰路691号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面LiF材料清洗方法，包括以下步骤：步骤10、固定；步骤20、药水配置；步骤30、超声波振板安装；步骤40、去除膜层；步骤50、溢流超声波清洗；步骤60、脱水；步骤70、干燥。本发明通过对药水类型的选择和比例的控制，能够在不损伤产品本体的情况下使LiF膜层从Open Mask部件表面剥离，从而实现Open Mask部件洗净再生、二次利用的目的。 |
