一种便捷加料的真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202023074471.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214142509U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214142509U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 任夫洋;苏建;崔庆尚;陈吉慧;郑兆河 | 申请（专利权）人 | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈桂玲 |
| 地址 | 250101山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。本实用新型提供的便捷加料的真空镀膜设备通过磁性导环的磁性牵引金属挡板拉杆，进而移动储料盒挡板完成自主加料，显著延长了设备破空开腔周期，提高了设备利用效率，保证了连续生产，降低了生产成本。 |
