一种基于渐变波导层的小功率激光器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201910758929.3 申请日 -
公开(公告)号 CN112398002B 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN112398002B 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01S5/34(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘飞;朱振;张新;于军;张东东 申请(专利权)人 山东华光光电子股份有限公司
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人 赵龙群
地址 250101山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种基于渐变波导层的小功率激光器及其制备方法,激光器中(Al1‑x3Gax3)y1In1‑y1P下限制层和(Al1‑x5Gax3)y1In1‑y1P下波导层之间设置有(Al1‑x4Gax3)y1In1‑y1P组分渐变下波导层;(Al1‑x10Gax3)y1In1‑y1P上波导层和Al1‑In1‑y1P上限制层之间设置有(Alx12Gax3)y1In1‑y1P组分渐变上波导层。本发明采用半渐变半稳定非对称宽波导结构降低波导层与限制层界面的势垒尖峰,保证量子阱发光区稳定生长;减少空穴对光的吸收,提高发光效率。1‑y7