谐振器和谐振器的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110394295.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112953445A | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN112953445A | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | H03H9/15;H03H3/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人 | 广东省广纳科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 邓晔 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋1004室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种谐振器和谐振器的制造方法，该谐振器的特征在于，包括：衬底；反射层，该反射层形成在衬底上，并且包括一个或多个彼此堆叠形成的声速层组，该声速层组包括第一声速层以及形成在第一声速层上并且具有比所述第一声速层具有的声速要小的声速的第二声速层；以及压电层，该压电层由PMNT材料形成并且形成在反射层上。 |
