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一种硅片红外烘烤装置

基本信息

申请号	CN202021645492.7	申请日	-
公开（公告）号	CN213631342U	公开（公告）日	2021-07-06
申请公布号	CN213631342U	申请公布日	2021-07-06
分类号	F26B11/18;F26B3/30;F26B25/18;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/12	分类	干燥;
发明人	初亚东	申请（专利权）人	天津天物金佰微电子有限公司
代理机构	天津企兴智财知识产权代理有限公司	代理人	李彦彦
地址	300385 天津市西青区经济技术开发区赛达工业园5号厂房
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种硅片红外烘烤装置，包括工作台、转盘、FFU风机过滤机组、片篮；所述工作台为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组；所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮的工作位；所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口，所述送风口通过风管连接FFU风机过滤机组。本实用新型所述的一种硅片红外烘烤装置，采用FFU风机过滤机组送风，烘烤过程更洁净；多工位工作，可以放置更多的硅片片篮，烘烤效率更高；采用红外灯与转盘的组合，使烘烤效果更好。