一种提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置
基本信息
| 申请号 | CN201821633299.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209423372U | 公开（公告）日 | 2019-09-24 |
| 申请公布号 | CN209423372U | 申请公布日 | 2019-09-24 |
| 分类号 | B01F7/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 初亚东 | 申请（专利权）人 | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 地址 | 300000 天津市西青区西青经济技术开发区赛达工业园5号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置，包括槽体和旋转花篮；所述槽体为上端开口的箱体，所述旋转花篮可旋转固定在所述槽体内的空腔中，与所述旋转花篮的旋转轴心垂直的截面为多个竖直截面，所述槽体由该竖直截面截取的截面呈梯形，且该槽体梯形截面的下底边长度小于上底边长度；该槽体的底面板上设有腐蚀液入口，所述腐蚀液入口位于所述旋转花篮的旋转轴心正下方。本实用新型所述的提高腐蚀液交换速率及均匀性的装置，避免了槽体内底角部位由于流速差异导致的腐蚀液交换“死角”，且可以通过调节槽体两侧倾角，来有效调节通过花篮两侧的腐蚀液流量，达到均匀交换的目的。 |
