首页/ 天津天物金佰微电子有限公司/ 专利详情

去边机

基本信息

申请号 CN202010796210.1 申请日 -
公开（公告）号 CN112002657A 公开（公告）日 2020-11-27
申请公布号 CN112002657A 申请公布日 2020-11-27
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 初亚东 申请（专利权）人 天津天物金佰微电子有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 天津天物金佰微电子有限公司
地址 300385天津市西青区经济技术开发区赛达工业园5号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种去边机，包括主动机构以及从动机构，主动机构包括压片盘，从动机构包括载片台，压片盘与载片台相对设置，压片盘与载片台之间形成用于固定晶圆的容纳空间；压片盘远离载片台一侧与旋转驱动电机的输出轴连接，载片台远离压片盘一侧设有支撑杆，载片台与支撑杆转动连接；还包括设置在载片台侧方的用于对晶圆边缘去边的去边喷嘴。本发明所述的去边机通过压片盘、载片台夹紧晶圆并带动晶圆旋转，同时再通过设置在载片台侧方的去边喷嘴对晶圆边缘部位进行周向的吹除，提高了工作效率同时提高了剔除质量，降低了废品率。