用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置
基本信息
| 申请号 | CN200910164225.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101640233B | 公开（公告）日 | 2011-11-30 |
| 申请公布号 | CN101640233B | 申请公布日 | 2011-11-30 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 侯仁义 | 申请（专利权）人 | 四川阿波罗太阳能科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都科海专利事务有限责任公司 | 代理人 | 成都中光电阿波罗太阳能有限公司;成都中建材光电材料有限公司 |
| 地址 | 610207 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区腾飞三路485号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置，其特点是该装置由CdS/CdTe的形成装置，CdCl2热处理装置和背电极制作装置组成。CdS/CdTe的形成装置依次由进料仓(1)、CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)组成；CdCl2热处理装置采用近空间升华法装置将CdCl2镀在CdS/CdTe面上；背电极制作装置与CdS/CdTe形成装置基本相同，只是将CdS镀膜仓换成ZnTe镀膜仓，CdTe镀膜仓换成Ni镀膜仓。然后采用磁控溅射法将CdS、CdTe、CdCl2、ZnTe:Cu和Ni分别溅射到经清洗激光刻的导电玻璃工件上，用超声焊机焊上引出电极，用UV胶在电池背面涂覆约200～500μm厚的胶膜，经UV干燥机干燥后形成完整的太阳能电池。 |
