一种密封性能好的真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201820789842.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208430220U | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN208430220U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 向一民;叶电;刘新;张杰海;王欢 | 申请（专利权）人 | 江苏怡丽科姆新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 常州市权航专利代理有限公司 | 代理人 | 江苏怡丽科姆新材料股份有限公司 |
| 地址 | 211400 江苏省扬州市仪征汽车工业园东区五号路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体和内壳体，所述外壳体套接在内壳体的外部，所述外壳体和内壳体的中间设有过渡腔，所述外壳体和内壳体的底部均固定连接有底座，所述外壳体的中间设有第一隔离阀门，所述内壳体的中间与第一隔离阀门相对应的地方设有第二隔离阀门，所述内壳体的内部设有镀膜腔，所述镀膜腔的上部设有基材，所述镀膜腔的底部设有靶材，所述靶材的下部接触连接有坩埚，所述坩埚与底座固定连接，该实用新型，通过设置过渡腔将外部的空气进行过滤，提高了镀膜机的密封性，设置的遮挡板能减少人员的清理时间，设有的电机和转轴能提高镀膜的均匀性，设有红外温度计检测内部温度，提高了镀膜质量。 |
