一种多功能硅基液晶芯片在线检测系统及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种多功能硅基液晶芯片在线检测系统及方法

基本信息

申请号	CN202110142195.3	申请日	-
公开（公告）号	CN112858343B	公开（公告）日	2021-11-16
申请公布号	CN112858343B	申请公布日	2021-11-16
分类号	G01N21/956（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	夏高飞;宇磊磊;张宁峰;王华	申请（专利权）人	西安中科微星光电科技有限公司
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	魏毅宏
地址	710000陕西省西安市高新区毕原二路3000号西科控股硬科技企业社区3号楼301室
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种多功能硅基液晶芯片在线检测系统，硅基液晶芯片生产技术领域，包括控制模块、检测模块、判定模块、输出模块；控制模块分别与检测模块、判定模块、输出模块电性连接，用于控制检测模块、判定模块、输出模块的工作；检测模块用于晶圆的来料检测和封装后cell的检测；判定模块接收检测模块的检测结果，并与合格标准进行比较、判定；输出模块接收在检测结果及对应的判定结果，并将信息分类反馈给生产线前端和后端。本发明的检测系统及方法，集成度高、操作简单，容易集成到各个硅基液晶芯片生产线上，并及时将产品品质信息反馈到生产前端和后端，大大提升检测效率及准确率，减少残次品的产生，降低生产厂家的成本，提升行业竞争力。