一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310360950.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103400904A | 公开（公告）日 | 2013-11-20 |
| 申请公布号 | CN103400904A | 申请公布日 | 2013-11-20 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贾锐;邢钊;陈晨;张巍;张代生;金智;刘新宇 | 申请（专利权）人 | 徐州中科立晟新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 中国科学院微电子研究所;徐州中科立晟新能源技术有限公司 |
| 地址 | 100083 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法，包括:在硅片背面整面硼离子注入形成背面发射区;背面沉积碱腐蚀阻挡层;在背面阻挡层上开出BSF窗口，腐蚀去除BSF窗口处的碱腐蚀阻挡层;碱腐蚀去除背面BSF窗口处的硼注入层;在硅片前表面沉积一层薄的扩散过滤层;双面磷扩散同时形成BSF和FSF；去除背面的碱腐蚀阻挡层和前表面的扩散过滤层;硼离子注入激活;制备前表面减反层和背面钝化层;制备背面发射区电极和BSF电极;烧结实现电极的欧姆接触。本发明在工艺上得到了简化，性能上也得到了提升，对于双发射极背结背接触电池的产业化前景具有很大的裨益。 |
