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一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法

基本信息

申请号	CN200910080054.2	申请日	-
公开（公告）号	CN101840953B	公开（公告）日	2011-10-12
申请公布号	CN101840953B	申请公布日	2011-10-12
分类号	H01L31/18(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	贾锐;朱晨昕;陈晨;李维龙;张培文;刘明;刘新宇;叶甜春	申请（专利权）人	徐州中科立晟新能源技术有限公司
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	中国科学院微电子研究所;徐州中科立晟新能源技术有限公司
地址	100029 北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种制备表面混合调制晶硅太阳能电池的方法，包括：在晶硅基板正面和背面制备绒面结构；将正面和背面均有绒面结构的晶硅基板放置于扩散炉中进行扩散，形成双面PN结；在晶硅基板正面淀积Si薄膜，退火形成硅纳米晶；在晶硅基板正面淀积金属薄膜，退火形成金属纳米晶；在晶硅基板正面和背面生长Si3N4减反膜；采用丝网印刷在晶硅基板的背面印刷的正电极，并进行热处理固化；然后采用丝网印刷在晶硅基板的正面印刷的负电极，并进行热处理固化；合金退火，制备出表面硅纳米晶和金属纳米晶混合调制晶硅太阳能电池。本发明通过表面硅纳米晶和金属纳米晶混合调制方式，充分地转换短波长范围内的光，使其被晶硅电池吸收，达到高效转换的目的。