一种太阳能电池片及其背面PECVD法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110760598.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113481487A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113481487A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/02（2006.01）I;C23C16/30（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/06（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋飞飞;王英杰;任勇;何悦 | 申请（专利权）人 | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 王艳斋 |
| 地址 | 322118浙江省金华市东阳市横店镇工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种太阳能电池片及其背面PECVD法和应用。所述背面PECVD法包括以下步骤：（1）吹扫循环：插有硅片的石墨舟进舟前，对炉管循环进行氮气冲洗和一次抽真空操作；（2）预处理：通入N2O；（3）镀膜处理：依次沉积背钝化膜、氮化硅膜和氧化硅膜，得到经过背面PECVD处理的硅片；（4）氮气清洗：取出插有硅片的石墨舟，用氮气清洗炉管。本发明在石墨舟进舟前，提前利用氮气吹扫清洗和真空沉降的循环的方式减少PECVD炉管内的颗粒数量，之后再进石墨舟，同时在炉管运行过程中保持相对低的气流量和低气压，避免了反应物过量，最终有效地降低了太阳能电池片的EL黑点污染。 |
