一种传感器用电阻应变计
基本信息
| 申请号 | CN202110874141.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113513974A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113513974A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | G01B7/16（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 晏志鹏;赵凯锋;刘忙贤;刘建群;雒平华;张勋 | 申请（专利权）人 | 中航电测仪器股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 姚咏华 |
| 地址 | 723007陕西省汉中市经济开发北区鑫源路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种传感器用电阻应变计，连接栅和焊盘之间设计了应力释放环，应力释放环成圆弧状，应力释放环的圆弧方向可以弯向内侧呈镜像分布，也可以弯向外侧呈镜像分布，敏感栅总宽度介于应变孔单孔宽度的1/6～1/15，敏感栅长度介于单一应变孔薄壁臂70％～100％应力曲线间距之间，敏感栅截面梯形侧向腐蚀率≤10％，端头长度与单一敏感栅宽度比值≥3，焊盘与敏感栅距离焊盘位于30％及以下应力区之外，通过工艺控制敏感栅侧向腐蚀率，合理匹配弹性体、应变计蠕变，提高了传感器蠕变精度、蠕变稳定性和回零速度，整体提升了传感器性能，满足C6级传感器和10万分度天平传感器批量指标要求。 |
