制备五氯二硅烷的方法和包含其的纯化反应产物
基本信息
| 申请号 | CN201880058352.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111065602A | 公开（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申请公布号 | CN111065602A | 申请公布日 | 2020-04-24 |
| 分类号 | C01B33/107;B01D3/00 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | B·凯托拉;N·莫厄尔昌;J·杨;X·周 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人 | DDP特种电子材料美国第9有限公司 |
| 地址 | 239000 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种制备五氯二硅烷的方法。所述方法包括用金属氢化物化合物部分还原六氯二硅烷，以得到包含五氯二硅烷的反应产物。所述方法进一步包括纯化所述反应产物，以得到包含所述五氯二硅烷的纯化反应产物。还公开了包含根据所述方法形成的五氯二硅烷的纯化反应产物。 |
