二硅烷基胺和聚硅烷基胺的合成
基本信息
申请号 | CN201680072355.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108431013A | 公开(公告)日 | 2018-08-21 |
申请公布号 | CN108431013A | 申请公布日 | 2018-08-21 |
分类号 | C07F7/10;C07F7/20;H01L21/02 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
发明人 | X·周 | 申请(专利权)人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 美国陶氏有机硅公司 |
地址 | 美国密歇根州 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供用于制备硅烷基胺,诸如二硅烷基胺和聚硅烷基胺,以及包含所述硅烷基胺的组合物的方法。在一个实施方案中,本发明提供用于制备硅烷基胺化合物的方法,所述方法包括使通式RR1N‑(SixH2x+1)的起始化合物与通式R2R3NH的胺化合物反应以制备通式R2mR3n‑N(SixH2x+1)3‑m‑n的硅烷基胺化合物。 |
