二硅烷基胺和聚硅烷基胺的合成

基本信息

申请号 CN201680072355.9 申请日 -
公开(公告)号 CN108431013A 公开(公告)日 2018-08-21
申请公布号 CN108431013A 申请公布日 2018-08-21
分类号 C07F7/10;C07F7/20;H01L21/02 分类 有机化学〔2〕;
发明人 X·周 申请(专利权)人 南大光电半导体材料有限公司
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人 美国陶氏有机硅公司
地址 美国密歇根州
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供用于制备硅烷基胺,诸如二硅烷基胺和聚硅烷基胺,以及包含所述硅烷基胺的组合物的方法。在一个实施方案中,本发明提供用于制备硅烷基胺化合物的方法,所述方法包括使通式RR1N‑(SixH2x+1)的起始化合物与通式R2R3NH的胺化合物反应以制备通式R2mR3n‑N(SixH2x+1)3‑m‑n的硅烷基胺化合物。