1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201880059969.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111094181A | 公开（公告）日 | 2020-05-01 |
| 申请公布号 | CN111094181A | 申请公布日 | 2020-05-01 |
| 分类号 | C01B33/04;C07F7/10;C23C16/00 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | B·K·黄;周孝宾 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人 | DDP特种电子材料美国第9有限公司 |
| 地址 | 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦镇平胜路67号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物和一种制备所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的方法。所述方法包括用包含有机胺化合物的胺化剂将1,1,1‑三卤代二硅烷胺化，得到包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的反应产物，从而制备所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物。还公开了一种成膜组合物。所述成膜组合物包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物。还公开了一种用所述成膜组合物形成的膜和一种形成所述膜的方法。形成所述膜的所述方法包括在基材存在下使包含所述1,1,1‑三(有机氨基)二硅烷化合物的所述成膜组合物经受沉积条件，从而在所述基材上形成所述膜。 |
