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三（乙硅烷基）胺

基本信息

申请号 CN201680070868.6 申请日 -
公开（公告）号 CN108431012B 公开（公告）日 2021-01-26
申请公布号 CN108431012B 申请公布日 2021-01-26
分类号 C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 分类 有机化学〔2〕;
发明人 B·D·瑞肯;X·周;B·K·黄;B·凯托拉 申请（专利权）人 南大光电半导体材料有限公司
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 郭辉;陈哲锋
地址 215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦镇平胜路67号
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于制备三（乙硅烷基）胺的方法。所述方法包括以下步骤：（a）使乙硅烷基（烷基）胺与氨接触以制备二（乙硅烷基）胺；以及（b）使二（乙硅烷基）胺制备三（乙硅烷基）胺和氨。