二硅烷基胺和聚硅烷基胺的合成
基本信息
| 申请号 | CN201680072355.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108431013B | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN108431013B | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;C07F7/20(2006.01)I;C07F7/10(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | X·周 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 吴亦华 |
| 地址 | 美国密歇根州 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供用于制备硅烷基胺，诸如二硅烷基胺和聚硅烷基胺，以及包含所述硅烷基胺的组合物的方法。在一个实施方案中，本发明提供用于制备硅烷基胺化合物的方法，所述方法包括使通式RR1N‑(SixH2x+1)的起始化合物与通式R2R3NH的胺化合物反应以制备通式R2mR3n‑N(SixH2x+1)3‑m‑n的硅烷基胺化合物。 |
