三(乙硅烷基)胺
基本信息
| 申请号 | CN201680070868.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108431012A | 公开（公告）日 | 2018-08-21 |
| 申请公布号 | CN108431012A | 申请公布日 | 2018-08-21 |
| 分类号 | C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | B·D·瑞肯;X·周;B·K·黄;B·凯托拉 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 美国陶氏有机硅公司 |
| 地址 | 239000 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于制备三(乙硅烷基)胺的方法。所述方法包括以下步骤：(a)使乙硅烷基(烷基)胺与氨接触以制备二(乙硅烷基)胺；以及(b)使二(乙硅烷基)胺制备三(乙硅烷基)胺和氨。 |
