高纯度三甲硅烷基胺、制备方法和用途
基本信息
| 申请号 | CN201680080583.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108602840B | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN108602840B | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C07F7/10(2006.01)I;C07F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | B·M·凯托拉;J·A·马多克;B·D·瑞肯;M·D·泰尔根霍夫;X·周 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 吴亦华 |
| 地址 | 239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种组合物，其包含：三甲硅烷基胺和小于5ppmw的卤素。本发明还公开了一种制备甲硅烷基胺的方法，该方法包括使氨和包含氨基硅烷官能团的化合物在足以引起反应的条件下混合以形成甲硅烷基胺和副产物，其中所述包含氨基硅烷官能团的化合物根据式(I)R1N(R2)a(SiH3)2‑a(I)，其中R1为有机聚合物、C1‑20烃基基团或‑SiR331，其中R3为C1‑6烃基，R2为C1‑20烃基基团、H、或‑SiR331，其中R3如上定义，下标a为0或1，前提条件是除R1为苯基，R2不为苯基之外，R1和R2可相同或不同。 |
