2，2，4，4-四甲硅烷基五硅烷及其组合物、方法和用途
基本信息
| 申请号 | CN201480054107.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105593233B | 公开（公告）日 | 2018-04-27 |
| 申请公布号 | CN105593233B | 申请公布日 | 2018-04-27 |
| 分类号 | C07F7/02;C01B33/04;C23C16/24;H01L21/02 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 萧冰·周 | 申请（专利权）人 | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 道康宁公司;美国陶氏有机硅公司 |
| 地址 | 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦镇平胜路67号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了作为2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷的化合物、包含其的化学组合物、制备和纯化2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷的方法、由此制备的纯化的2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷以及使用2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷作为前体来形成含硅材料的方法。 |
