一种氮化镓基发光二极管及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201410093932.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103824915A | 公开(公告)日 | 2014-05-28 |
申请公布号 | CN103824915A | 申请公布日 | 2014-05-28 |
分类号 | H01L33/00(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I;H01L33/24(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 闫发旺;白俊春;汪英杰 | 申请(专利权)人 | 华延芯光(北京)科技有限公司 |
代理机构 | 北京权泰知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 华延芯光(北京)科技有限公司 |
地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区宏达北路12号A813室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种氮化镓基发光二极管,其从下到上依次包括以下各层:蓝宝石衬底1;氮化镓层2,其作为缓冲层;非掺杂氮化镓层3;n型导电氮化镓层4;表面粗化不平的氮化铝硅层5;氮化铟镓/氮化镓多量子阱层6;和p型氮化镓层7。本发明还提供了上述氮化镓基发光二极管的制备方法。 |
