一种硒源加热装置

基本信息

申请号 CN201822165257.9 申请日 -
公开(公告)号 CN209759572U 公开(公告)日 2019-12-10
申请公布号 CN209759572U 申请公布日 2019-12-10
分类号 C23C14/26(2006.01); H01L31/18(2006.01) 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 瞿佳华 申请(专利权)人 华夏易能(广东)新能源科技有限公司
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 代理人 华夏易能(广东)新能源科技有限公司;北京晖宏科技有限公司
地址 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出一种硒源加热装置,包括:具有腔体并在所述腔体顶端设有开孔的坩埚,与所述开孔连接的喷嘴,沿所述坩埚壁设置的第一加热器件,以及沿所述喷嘴外壁设置的第二加热器件;所述第一加热器件的加热温度能使所述硒源蒸发,所述第二加热器件的加热温度高于所述第一加热器件的加热温度,从而使硒源能够保持小分子结构,进而降低了晶体中出现硒空位缺陷的概率,提高吸收层中的受主浓度,从而增加载流子浓度,提高电池效率。