一种蒸发源组件和薄膜生长设备
基本信息
| 申请号 | CN201822226646.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209537607U | 公开（公告）日 | 2019-10-25 |
| 申请公布号 | CN209537607U | 申请公布日 | 2019-10-25 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邹以慧; 瞿佳华 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司;北京晖宏科技有限公司 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种蒸发源组件和薄膜生长设备，包括一腔室，腔室包括多个反应区以及位于相邻的反应区之间的间隔板，间隔板将各个反应区分隔成相互独立的空间；多个反应区至少包括第一反应区、第二反应区和第三反应区，第一反应区、第二反应区和第三反应区的排列方向与位于腔室顶部的衬底的传动方向相同；第一反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源，第二反应区包括硒蒸发源和铜蒸发源，第三反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源。由于相邻的反应区之间具有间隔板，因此，第一反应区、第二反应区和第三反应区之间的各蒸发源不会相互影响，这样不仅提高了各蒸发源的利用率，而且可以提高CIGS薄膜的质量。 |
