一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN201822170577.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209836285U | 公开（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申请公布号 | CN209836285U | 申请公布日 | 2019-12-24 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/54;G01N1/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄春泉;牙侯固 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统，所述多源共蒸发镀膜系统包括真空蒸发腔和设于所述真空蒸发腔内的至少一个金属蒸发源，所述多源共蒸发取样装置包括至少一个取样单元，所述取样单元与所述金属蒸发源一一对应，所述取样单元设于所述真空蒸发腔的外壁，所述取样单元内设有与所述真空蒸发腔连通的取样通道，所述取样通道的底部设有载玻片容纳槽，所述载玻片容纳槽内可拆卸地设有载玻片，所述载玻片与所述取样通道的轴线垂直。本申请中的多源共蒸发取样装置取样路径便捷，取样速度较快，取样结果准确，提高了取样的质量，进而提高了数据监测的准确性，极大地提高了对金属蒸发源的控制质量，达到提高镀膜质量的目的。 |
