一种镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201822087416.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209759583U | 公开（公告）日 | 2019-12-10 |
| 申请公布号 | CN209759583U | 申请公布日 | 2019-12-10 |
| 分类号 | C23C18/16（2006.01）; C03C17/22（2006.01）; H01L31/18（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张升飞; 惠述伟; 朱海安 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司;北京晖宏科技有限公司 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种镀膜装置，涉及工业生产技术领域。包括：反应池、第一加热回路和第二加热回路，反应池上设有第一回流口和第二回流口，第一加热回路的入液端与第一回流口连通，第一加热回路的出液端连通至反应池的底部，第二加热回路的入液端与第二回流口连通，第二加热回路的出液端连通至反应池的顶部，第一加热回路和第二加热回路均能够对液体进行循环和加热。本实用新型提供的镀膜装置，第一加热回路和第二加热回路分别从底部和顶部同时将加热后的镀膜溶液注入反应池内，使反应池内的镀膜溶液在保持循环的同时，也能够实现上下同时对热镀膜溶液进行的双向对流注入，使反应池内的镀膜溶液的温度能够均匀分布。 |
