一种蒸镀坩埚
基本信息
| 申请号 | CN201822124190.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209816259U | 公开（公告）日 | 2019-12-20 |
| 申请公布号 | CN209816259U | 申请公布日 | 2019-12-20 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邹以慧 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司;北京晖宏科技有限公司 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种蒸镀坩埚，其包括坩埚本体和加热部，所述坩埚本体具有容纳腔，所述坩埚本体的顶部设置有至少一个蒸气出口，所述蒸气出口与所述容纳腔连通；所述加热部设置于所述坩埚本体的顶部，所述加热部用于使容纳于所述容纳腔内的材料汽化。采用本申请所提供的蒸镀坩埚能较为精准地控制镀膜中各组分的量，以保证镀膜满足工艺要求。 |
