一种薄膜制备设备
基本信息
| 申请号 | CN201822245710.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209836303U | 公开（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申请公布号 | CN209836303U | 申请公布日 | 2019-12-24 |
| 分类号 | C23C18/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾雄;惠述伟;张升飞 | 申请（专利权）人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司;北京晖宏科技有限公司 |
| 地址 | 517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-5室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜制备设备，包括：将注入反应液进行化学沉积反应的反应槽(10)；设置在反应槽(10)外部的循环装置(20)，循环装置(20)的一端与反应槽(10)底部连通，另一端与反应槽(10)上部连通，循环装置(20)将经反应槽(10)上部溢出的反应液输送至外部加热器加热，然后经反应槽(10)底部的注液口注入该反应液，还包括：至少一个加热装置(30)，设置在反应槽(10)下部或底部外侧，用于非接触地对反应槽(10)内的反应液加热；测温仪(40)，设置在反应槽(10)上部出口附近，用于检测反应槽(10)溢流反应液的温度。采用本实施方案，有效地解决加热时延问题，并使反应槽(10)内反应液迅速升温的同时温度均匀分布。 |
