导流筒及单晶炉
基本信息
申请号 | CN202023166476.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214193510U | 公开(公告)日 | 2021-09-14 |
申请公布号 | CN214193510U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 丁亚国;顾燕滨;梁万亮;马国忠 | 申请(专利权)人 | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
代理机构 | 宁夏合天律师事务所 | 代理人 | 郑重 |
地址 | 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路25号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种导流筒及单晶炉,属于单晶设备技术领域。导流筒包括外壳、内胆及填充于所述外壳和所述内胆之间的绝热层,所述内胆包括钼金属部及高纯石墨部,所述钼金属部设置于所述高纯石墨部上。一方面,高纯石墨部靠近硅熔汤液面,钼金属部远离硅熔汤液面,因此降低钼金属扩散,提高单晶硅品质;另一方面,位于导流筒上部的钼金属部能够反射部分热量,增加温度梯度,提高单晶拉速。上述导流筒能够在保证单晶拉速的基础上,降低单晶硅金属杂质含量,提高单晶硅品质,延长单晶硅使用寿命。 |
