直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202111642121.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114381795A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114381795A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 | 申请（专利权）人 | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙彦虎 |
| 地址 | 750000宁夏回族自治区银川市开发区光明西路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉，属于水冷屏装置的技术领域，包括水冷屏，所述水冷屏的下端设置圆环形护套，所述圆环形护套与所述水冷屏的下端连接，水冷屏上部分为不锈钢结构，而单晶炉内的加热器的加热温度为1450℃，炉腔内的环境温度在1000℃以上，不锈钢的耐高温温度为1000℃，在单晶炉内炉内温度过高容易造成不锈钢水冷屏高温熔断或爆裂，因此采用圆环形护套将水冷屏和圆环形护套固定在石英坩埚上方，避免水冷热屏高温熔断或爆裂，同时通过圆环形护套能够延伸水冷屏的长度，延伸水冷热屏的热折射，有效保证单晶炉内良好的温度梯度。 |
