直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202111639257.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114369865A | 公开（公告）日 | 2022-04-19 |
| 申请公布号 | CN114369865A | 申请公布日 | 2022-04-19 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 | 申请（专利权）人 | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙彦虎 |
| 地址 | 750000宁夏回族自治区银川市开发区光明西路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置，属于提高晶棒收率工艺的技术领域，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°，当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。 |
