首页/ 精典电子股份有限公司/ 专利详情

一种喷嘴自动清洗装置

基本信息

申请号 CN201822257963.6 申请日 -
公开（公告）号 CN209631478U 公开（公告）日 2019-11-15
申请公布号 CN209631478U 申请公布日 2019-11-15
分类号 B05B15/50 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 刘青;俞韶兵 申请（专利权）人 精典电子股份有限公司
代理机构 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） 代理人 精典电子股份有限公司
地址 200131上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层
法律状态 -

摘要

摘要 一种喷嘴自动清洗装置，包括清洗管路、吹气管路、移动装置以及控制系统，所述清洗管路包括清洗管路本体、设置于所述清洗管路本体上的第一电磁阀、设置于清洗管路本体末端的清洗喷嘴，所述吹气管路包括吹气管路本体、设置于所述吹气管路本体上的第二电磁阀、设置于吹气管路本体末端的吹气喷嘴，所述移动装置包括横向支架，所述清洗喷嘴和所述吹气喷嘴均设置于所述横向支架上，所述控制系统同所述第一电磁阀和第二电磁阀控制连接。该清洗装置可提高喷嘴的洁净度，避免由于喷嘴被污染导致后续工艺上的缺陷，提高了晶圆片上的芯片的良品率。