一种晶圆检测用吸盘
基本信息
| 申请号 | CN201920514304.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209471946U | 公开（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申请公布号 | CN209471946U | 申请公布日 | 2019-10-08 |
| 分类号 | H01L21/683 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张泳 | 申请（专利权）人 | 精典电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 精典电子股份有限公司 |
| 地址 | 200131 上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆检测用吸盘，包括盘体和吸附结构；所述盘体为圆盘形结构，所述盘体上均匀分布若干个所述吸附结构，所述吸附结构包括支撑体和气体通道，所述支撑体垂直设置于所述盘体上，于所述支撑体的内部设置贯通所述支撑体的所述气体通道，所述气体通道同抽真空装置连接。该吸盘通过设置多个均匀分布的支撑型吸附结构，对晶圆中的多个区域分别吸附，因在同一个区域内，晶圆平整度相差较小，从而可以实现小范围区域内的吸附，解决了对晶圆进行整体吸附困难的问题。 |
