一种晶圆冲洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201921501753.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210325716U | 公开（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申请公布号 | CN210325716U | 申请公布日 | 2020-04-14 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘青;俞韶兵 | 申请（专利权）人 | 精典电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 精典电子股份有限公司 |
| 地址 | 200131上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆冲洗装置，包括安装底座、第一安装架、第二安装架、特氟龙软管和锥形喷嘴，所述安装底座安装于支架上，于所述安装底座上设置第一安装架和第二安装架，所述第一安装架和所述第二安装架上设置有同轴的通孔，于所述第一安装架和所述第二安装架的同轴通孔中依次穿设安装特氟龙软管，于所述特氟龙软管的喷嘴端设置锥形喷嘴。该冲洗装置能有效避免冲水管在固定处发生折损的问题，降低因冲水管破裂和微颗粒掉落导致产品异常的概率，同时提高冲水管冲水方向的稳定性。 |
