一种晶圆的计数装置
基本信息
| 申请号 | CN201921065383.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209859187U | 公开（公告）日 | 2019-12-27 |
| 申请公布号 | CN209859187U | 申请公布日 | 2019-12-27 |
| 分类号 | G06M1/27（2006.01） | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 钱勇 | 申请（专利权）人 | 精典电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 精典电子股份有限公司 |
| 地址 | 200131 上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆的计数装置，包括固定架、检测极板、基准极板和电路板，所述固定架设置有多个，于两个所述端架间设置所述中间架，且所述端架和所述中间架间隔均匀排成一列，所述端架朝向所述中间架的一侧和所述中间架的两侧设置第一极板区和第二极板区，且所述端架上的所述第一极板区和所述第二极板区和所述中间架上的所述第一极板区和所述第二极板区分别对应，于所述第一极板区内设置所述检测极板，于所述第二极板区内设置所述基准极板，所述电路板内设置有多个相同的电路单元。可对高透光率晶圆进行精确检测和计数的晶圆计数装置。 |
