一种晶圆的定位装置
基本信息
| 申请号 | CN201821523145.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211743113U | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN211743113U | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张泳;张霖 | 申请（专利权）人 | 精典电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 精典电子股份有限公司 |
| 地址 | 200131上海市浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆的定位装置，包括承载晶圆的调整台、反射式光电传感器、信号处理单元和控制单元，所述的反射式光电传感器包括红外线发射端、反射装置以及红外线接收端，所述红外线发射端和反射装置分置于晶圆两侧，红外线发射端发射出的红外线垂直于晶圆，反射装置可将透射晶圆的红外线反射到红外线接收端，所述红外线接收端同信号处理单元输入端连接，信号处理单元内设置放大电路，信号处理单元的输出端连接控制单元。该装置可实现半透明多角度主、副双平边型晶圆的精准定位，并完成该晶圆正反面的识别。 |
